光刻镜头介绍
什么是LDI？
LDI，其全称是Laser Direct Imaging，即激光直接成像技术，是直写曝光技术中的一种。该种技术应用到PCB曝光环节中后，较之传统掩膜（菲林）曝光，可以节省制版、工艺验证等多重工艺所需的时间，大幅提高生产效率。另外由于不需要掩膜（菲林），因此可以优化热膨胀带来的对位误差，避免掩膜瑕疵带来的不良等，从而提高PCB制作精度和产量。
基于DMD的LDI投影成像镜头
采用DMD为图形发生器的方案主要优势在于其光学结构更加紧凑，可以更加容易的通过增加曝光头的方法来进行曝光效率提升，而且随着3波长光学（365nm/385nm/405nm）系统的引入，曝光谱线更加接近传统曝光机，并且能量也更高。因此该种技术的前景更加广阔。
灿锐接受LDI镜头定制生产
深圳灿锐一直致力于高精度远心、双远心工业镜头研发和销售，除了在反射式、透射式接近接触式曝光机（Mask Aligner）和紫外直写光刻镜头等紫外曝光光学系统上有所涉猎外，目前正与国内数家LDI厂家深入合作，进行基于DMD的LDI镜头研发和生产。深圳灿锐定制生产的双波段、三波段LDI镜头在设计上除了对像质进行了全面优化以外，还着重优化了透过率，在保证像质的前提下，360~400nm波段综合透过率优于80%。
高亮、高均匀性照明系统
高亮、高均匀性照明系统是基于DMD的LDI光学系统的重要组件，其是采用紫外LED作为光源的照明系统。紫外LED作为高亮度、长寿命发光器件，无论是在经济性还是环保性上相对激光或汞灯都具有较强的优势，但是其单颗功率小，发光角度大等特点，也是其应用于高亮度、高均匀性照明系统的一项难点。灿锐将其在反射式、透射式接近接触式曝光机（Mask Aligner）的光学系统的设计经验应用到了该种照明系统的设计中，已研发出了针对0.95寸DMD芯片的大数值孔径、高亮度、高均匀性照明光源。
